用途：將粘接好的晶棒，連同料板一同拿到YX-6F定向儀上，料板底部靠在測角儀的基準面上，打開光閘進行復檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進行X軸的復檢測量，測量后的結果可與YX-6D的打印結果進行對照，如有差異，可將晶棒從料板取下，重新粘接，大大保證了切割前晶棒的粘接精度。

技術參數：

X射 線 管	銅靶，陽極接地，強迫風冷
管 電 壓	30KVP，全壓合閘
管 電 流	0---5mA，連續可調
整 機 功 率	不大于0.3KW
定 向 精 度	±30″
蝸輪運動誤差	不大于30″
計數器轉角度	-10°------+100°
樣品轉角度	-10°------+50°
計 數 管	蓋革管，電壓600-----1100V
時間常 數	分0.1、0.4、3秒三檔可調
保 護	高壓連鎖保護，溫度保護
狹 縫	4′、5′、6′
外 型 尺 寸	1200mm×650mm×1100mm
儀 器 重 量	250KG
測樣品直徑	硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片；
測晶棒長度	硅單晶 Φ3—8英寸；500毫米長晶棒